PH201S-06 ウェハホットチャック (PH201S-06) 工具その他 4-1528-03
[製品] PH201S-06 ウェハホットチャック
PH201S-06 ウェハホットチャック(PH201S-06)
[製品データ] PH201S-06 ウェハホットチャック
品番 | 4-1528-03 | ||
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製品名称 | PH201S-06 ウェハホットチャック 型番:PH201S-06 |
品番 | 4-1528-03 | ||
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新商品区分 | ウェハホットチャック Φ6 黒アルマイト | ||
商品名 | PH201S-06 ウェハホットチャック | ||
商品名(カナ) | PH201S-06 ウェハホットチャック | ||
JANコード | 0 | ||
型番 | PH201S-06 | ||
定価(円・税抜) | 418,000 | ||
規格1 | ●ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。●ワークは真空吸着により固定できます。●付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。 | ||
規格内容1 | ●プレートサイズ:Φ6インチ●表面処理:黒アルマイト●<ホットチャック部>●▼チャック可能サイズ:Φ2~6インチ●温度制御範囲:室温~200℃●▼温度精度:±1.5%●▼電気容量:900W●▼サイズ:200×234×54mm●▼重量:約3kg●<温度調節器>●▼電源:AC100V 50/60Hz●▼サイズ:98×156×101mm●▼重量:約1.3kg●※別途真空ポンプが必要です(推奨ポンプ例:1-9197-02 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAP-12S)。 | ||
規格2 | |||
規格内容2 | |||
規格3 | |||
規格内容3 |
[製品カテゴリ] PH201S-06 ウェハホットチャック
大分類 | 4 | ||
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大分類名 | 実験室設備 | ||
中分類 | 43 | ||
中分類名 | 工具類 | ||
小分類 | 4114 | ||
小分類名 | 工具その他 | ||
掲載分類名大 | 1.研究・実験用機器 | ||
掲載分類名中 | B.加熱・冷却機器 |
[製品カタログ] PH201S-06 ウェハホットチャック
カタログID | |||
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カタログ名 | |||
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商品名 | |||
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商品名英語 | |||
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キャッチコピー | |||
仕様 | |||
特長 | |||
脚注 | |||
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